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奈米尺度影像暨微影製程 Nano-scale Images and Lithography

雙束聚焦離子束掃描式電子顯微鏡 [Dual-Beam Focus Ion Beam Microscope]

電子束微影系統 [ELS-7500EX E-Beam lithography System]

電子顯微鏡[SEM]

離子剪薄機 [PIPS]

高解析穿透式電子顯微鏡 [Cryo-TEM]

場發射穿透式電子顯微鏡 [FEG-TEM]

奈米檢測系統 Nano Analytical Systems

原子力顯微鏡 [AFM D3100]

原子力顯微鏡 [AFM Edge]

低溫電性量測平台 [Cryogenic Probe Station]

載子霍爾系數量測系統 [Hall Effect Measurement System]

高解析度X光繞射儀 [XRD]

X 光繞射儀系統 [X-ray Diffraction System]

光學量測系統 Optical Measurements

傅氏紅外線光譜儀 [FTIR]

積分球光源量測系統 [Integrating Sphere Light Source Measurement System]

高解析共焦拉曼顯微鏡光譜儀 [LabRAM HR Confocal Microscope]

太陽能電池外部量子入射效率分析機台 [Solar Cell Quantum Efficiency Measurement System]

多功能光譜量測系統 [Spectrum Measurement System]

太陽光模擬器 [Solar Simulator]

紫外/可見/紅外光分光光譜儀 [UV/VIS/NIR Spectrophotometer]

半導體製程設備 Semiconductor Fabrication

光罩對準曝光機 [DUV]

單電子槍蒸鍍機 [E-gun Evaporator]

晶粒共晶鍵合黏著機 [Eutectic Die Bonder]

高真空共濺鍍系統 [High Vacuum Co-sputtering System]

高真空自動化熱蒸鍍機 [High Vacuum Thermal Coater]

三五族化合物半導體元件之電感耦合電漿蝕刻機 [ICP RIE]

電漿輔助化學氣相沉積系統 [PECVD]

紫外臭氧清洗機 [PSD Pro Series digital UV Ozone Cleaner]

熱蒸鍍機 [Thermal Evaporator]

高溫真空/常壓退火爐管 [Vacuum/normal pressure furnace annealing system]

最新消息 Hot News

由於FIB Ga source 有問題導致 I-GUN高壓漏電, 需重新更換Ga Source, FIB 暫時停用! Due to the problem of FIB Ga Source, there is the current leakage of the suppressor unit of FIB I-Gun. FIB is not available before the Ga source is replaced.

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