廠務系統年度維修：115年1月29日~2月23日，各設備將於1月29日(四)下午4：00前完成關機。1月29日~2月23日全面封館。2月23日上午10：00廠務系統恢復運轉。門禁管制時間：1月29日(四)下午4：00~2月23日(一)上午10：00。各儀器復機時程請與儀器管理員洽詢。
From Jan. 29 to Feb. 4, the fab will be in maintenance. The building will be closed from Jan. 29 to Feb. 23. The fab system will be resumed at 10:00 in Feb. 23. All of facilities will be shutdown before 16:00 in Jan. 29. The access control of the building will be from 16:00, 2026/1/29 to 10:00, 2026/2/23. Please check with administrators for the resumed time table of each equipment.
最新消息 Hot News
部分儀器使用服務計價調整通知：
本中心將自2026年10月1日起調整部分儀器的使用服務計價。
(考量設備成本與軟體升級等)。
調整後新價格如下：
Instrument Service Price Adjustment
Effective Date: October 1, 2026
New pricing for select instrument services is listed below:
1.三五族化合物半導體元件之電感耦合電漿蝕刻機
ICP/RIE System for III-V Compound Semiconductor Device Fabrication
自行操作會員收費 (independent-operation fee)
會員A類(未出資)$3600/hr、B類(部分出資)$2400/hr、C類(全出資)$1200/hr
2.光罩對準曝光機暨濕式化學槽
DUV Mask Aligner
Wet bench
$550/hr (自行操作)(WB) Independent-operation
$1100/hr (操作訓練)(WB) Training
