因為氣體燃燒箱故障,故ICP自2022/12/15起暫停使用,開放時間待公告
造成不便敬請見諒!
最新消息 Hot News
部分儀器使用服務計價調整通知：
本中心將自2026年10月1日起調整部分儀器的使用服務計價。
(考量設備成本與軟體升級等)。
調整後新價格如下：
Instrument Service Price Adjustment
Effective Date: October 1, 2026
New pricing for select instrument services is listed below:
1.三五族化合物半導體元件之電感耦合電漿蝕刻機
ICP/RIE System for III-V Compound Semiconductor Device Fabrication
自行操作會員收費 (independent-operation fee)
會員A類(未出資)$3600/hr、B類(部分出資)$2400/hr、C類(全出資)$1200/hr
2.光罩對準曝光機暨濕式化學槽
DUV Mask Aligner
Wet bench
$550/hr (自行操作)(WB) Independent-operation
$1100/hr (操作訓練)(WB) Training
